近日,韓國設備廠商Philoptics研發(fā)出首個使用UV LED光源的DI光刻機。其光刻機采用UV LED光源代替汞燈,降低了能耗,且光刻機光源壽命長,易于維護。
Philoptics目前為PCB生產(chǎn)線提供DI光刻機,并計劃在未來響應柔性印刷電路板市場。目前正與國外客戶洽談為半導體晶圓生產(chǎn)線提供光刻機。(來源:etnews)
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